硅净化
从沙子中提取硅,经过提炼形成纯净的单晶硅锭。
将硅锭切割成薄片,形成晶圆,并经过清洗和抛光。
光刻技术
在晶圆表面涂上光刻胶(光敏材料)。
使用光罩和紫外光照射晶圆,使光刻胶在特定区域发生反应。
显影处理后,未被紫外光照射的部分被清除,形成电路的微小图案。
蚀刻和离子注入
化学蚀刻或等离子体蚀刻去除不需要的材料,形成电路图案。
离子注入技术将硼、磷等掺杂元素植入硅中,形成PN结和金属连接电路。
薄膜沉积
化学气相沉积(CVD)或物理气相沉积(PVD)等方法在晶圆表面形成不同的薄层材料,如导电层或绝缘层。
化学机械平坦化(CMP)
使经过多次蚀刻和沉积的晶圆表面平坦化。
热处理
包括快速热退火等过程,用于改善硅晶圆的电气特性。
晶圆测试
对每个晶粒进行电气特性检测。
封装
将制造完成的晶圆固定,绑定引脚,并进行封装。
整个制造过程需要高精度的设备和技术,通常在超净化的工厂内进行,并且需要使用高倍显微镜进行观察和检测。从设计到量产,整个过程可能需要四个月的时间。
以上步骤概述了芯片制造的基本流程,每个步骤都需要精确的控制和高质量的执行,以确保最终产品的性能和可靠性