在CAD中标注形位公差的步骤如下：
1. 打开CAD软件，并选择需要标注形位公差的零件。
2. 使用快捷键`TOL`或通过菜单【文件】→【打开】载入需要标注的图形。
3. 选择【注释】→【标注】→【公差】选项，打开【形位公差】对话框。
4. 在对话框中，选择合适的形位公差符号，如直线度、平面度、圆度等。
5. 输入具体的公差数值，并如有需要，选择或输入相应的基准代号。
6. 检查输入的符号、数值和基准代号是否正确无误。
7. 点击“确定”按钮，然后在图纸上适当位置点击以放置形位公差标注。
8. 如果需要，可以从标注位置引出连线指向被标注的特征，使用CAD中的绘图工具创建连线。
9. 确认形位公差标注的位置和方向正确无误后，按回车键或点击命令行中的“完成”按钮结束命令。
请注意，形位公差标注必须包含基准，基准是相对于某一固定基准的公差。