光化学反应
高能量的紫外线辐射（波长小于242 nm）照射氧气分子，使其光解产生自由氧原子。
这些自由氧原子与其他氧气分子碰撞形成臭氧分子。
放电
当含氧气的气体通过两个电极间的放电间隙时，部分氧气分子会被转化为臭氧。
高压电极产生微放电，氧气分子分解为自由氧原子，部分自由氧原子与未分解的氧气分子结合生成臭氧。
自然条件下的反应
闪电或强烈紫外线照射可以促使氧气分子转化为臭氧。
臭氧不稳定，会缓慢分解为氧气，但有催化剂（如卤素原子）可以加速这一过程。
人工产生
在实验室里，可以使用臭氧发生器，通过无声放电使空气中的氧气转变成臭氧。
这些方法中，无论是光化学反应、放电、自然条件下的反应还是人工产生，都涉及到氧气分子转化为臭氧分子的化学过程，并且通常伴随着新物质的生成